Mikrostruktūras izpētei jānosūta speciāli sagatavoti materiāla paraugi. 1. Pārbaudāmajai virsmai jābūt iepriekš noslīpētai un pulētai. Var būt nepieciešams īpašs kodinājums, lai atklātu mikrostruktūru - graudu robežas, ieslēgumus, sekundārās fāzes utt. 2. Šādā veidā sagatavoto paraugu ievieto mikroskopa vakuuma kamerā, kas tiek evakuēta augstā vakuumā. Pēc tam elektronu Lielgabalam tiek piegādāta jauda un veidojas elektronu stars. Ar elektromagnētiskās fokusēšanas sistēmas un novirzīšanas sistēmas palīdzību monitorā tiek veidots elektronisks attēls. Pamazām pārvietojoties pa parauga virsmu un mainot palielinājumu, tiek noteikti interesējošie apgabali, kas pēc tam tiek nofotografēti un saglabāti sistēmā kā attēlu faili.
Izveidoto nano pārklājumu stāvokļa analīze, detaļu virsmas stāvokļa analīze.
Ātra, kvalitatīva analīze plašā palielinājumu diapazonā no x20 līdz x20000. Iespēja noteikt attēla elementu izmērus.
Nanopārklājumi,mikrostruktūra,virsmas īpašības