Zinātniskās darbības atbalsta sistēma
Latviešu English

Komercializācijas pieteikums: Virsmas topogrāfijas smalku nianšu mērījumi nano līmenī ar atomspēku mikroskopu

Nosaukums Virsmas topogrāfijas smalku nianšu mērījumi nano līmenī ar atomspēku mikroskopu
Anotācija

Atomspēku mikroskops ir iekārta, kas paredzēta nano izmēru virsmas struktūru pētīšanai. Tā ļauj attēlot virsmas topogrāfiju nano-līmenī. Atomspēku mikroskops neizmanto lēcas vai staru kūli, tādēļ nav difrakcijas un ar to saistīto izšķirtspējas ierobežojumu. Paraugiem jābūt pēc iespējas plāniem un nelieliem, lai mērījums būtu visprecīzākais.

Atslēgas vārdi atomspēku mikroskops, virsmas topogrāfija, nano izmēri
Autori Māris Knite
Astrīda Bērziņa
Pāvels Onufrijevs
Artis Linarts
Struktūrvienība (14500) Tehniskās fizikas institūts
Saimniecisko darbību statistiskā klasifikācija, NACE 2 Arhitektūras un inženiertehniskie pakalpojumi; tehniskā pārbaude un analīze
Zinātniskās pētniecības darbs
Citi profesionālie, zinātniskie un tehniskie pakalpojumi
Tehnoloģijas/produkta apraksts

Piedāvājam virsmas topogrāfijas attēlošanu ar atomspēku mikroskopu. Lielākais aplūkojamais apgabals, atkarībā no parauga specifikas, ir 135 x 135 um. Iespējams aplūkot virsmas, kuru raupjums nav lielāks par 5 – 7 um. Iespējams aplūkot paraugus, kuru dimensijas nepārsniedz 5 x 5 x 2 cm (garums; platums; biezums) un svars līdz 200 g. Labāki attēli iegūstami plāniem paraugiem ar mazām dimensijām (līdz 3 cm2) un nelielu svaru (līdz 10 gramiem).

1. att. Polimēra slāņa virsmas attēls a) 3D attēls un b) 2D attēls.

Lielākiem paraugiem ir liela inerce, līdz ar ko mērījums ir ilgs un var saturēt daudz artifaktus – trokšņus, kas bojā attēla kvalitāti.

Iespējamais pielietojums Atomspēku mikroskops ir iekārta nano izmēru virsmas struktūru pētīšanai. Ar šo tehnoloģiju visefektīvāk var aplūkot smalki strukturētas virsmas, kurām virsma ir viens no noteicošajiem īpašības ietekmējošiem faktoriem, piemēram, plāno kārtiņu tehnoloģijā, monokristālu pamatņu (wafer) kvalitātes novērtēšanā u.c. smalku struktūru novērtēšanā.
Priekšrocības

Iespējams iegūt informāciju nano-līmenī par virsmas reljefa niansēm. Atomspēku mikroskops neizmanto lēcas vai staru kūli, tādēļ nav difrakcijas un ar to saistīto izšķirtspējas ierobežojumu.

Tehnoloģijas gatavības līmenis Sekmīga sistēmas ekspluatācija
Vēlamais sadarbības veids • Pakalpojuma līgumi.
ID 99
Kontaktinformācija e-pasts: santa.puskarjova@rtu.lv un ilmars.viksne@rtu.lv, tālrunis: +371 29373757 un +371 29187403