Zinātniskās darbības atbalsta sistēma
Latviešu English

Publikācija: Formation of Buried Layers by Laser Radiation

Publikācijas veids Raksts konferenču tēžu krājumā
Pamatdarbībai piesaistītais finansējums Nav zināms
Aizstāvēšana: ,
Publikācijas valoda English (en)
Nosaukums oriģinālvalodā Formation of Buried Layers by Laser Radiation
Pētniecības nozare 1. Dabaszinātnes
Pētniecības apakšnozare 1.3. Fizika un astronomija
Autori Artūrs Medvids
Jevgenijs Kaupužs
Atslēgas vārdi Buried layer, Laser Radiation, CO2
Anotācija New conception and both experimental anid theoretical results regarding buried layers formation and control of their depth anid thickness are presented. Effect of the CO2laser radiation on distribution and state of oxygen or nitrogen atoms, implanted in silicon wafer, is investigated experimentally. A model is proposed and equations are obtained descrbing the process of buried layer's foruation from impurities, introduced inside the crystal, in presence of the temperature gradient. An interaction between impurities is taken into account.
Hipersaite: http://ieeexplore.ieee.org/xpl/mostRecentIssue.jsp?punumber=5435865 
Atsauce Medvids, A., Kaupužs, J. Formation of Buried Layers by Laser Radiation . No: Proceedings of the 25th European Solid State Device Research Conference (ESSDERC '95), Nīderlande, Hague, 22.-26. septembris, 2014. Piscataway: IEEE, 2014, 671.-674.lpp. ISBN 286332182X.
Pilnais teksts
Papildinformācija Citējamību skaits:
  • Scopus  0
ID 19465