Zinātniskās darbības atbalsta sistēma
Latviešu English

Publikācija: XPS

Publikācijas veids Raksts konferenču tēžu krājumā
Pamatdarbībai piesaistītais finansējums Pētniecības projekti
Aizstāvēšana: ,
Publikācijas valoda English (en)
Nosaukums oriģinālvalodā XPS, FTIR and Photoelectron Emission Spectroscopies to Analyze Nanocapacitor Silicon Nitride Nano Layered Structures
Pētniecības nozare 2. Inženierzinātnes un tehnoloģijas
Pētniecības apakšnozare 2.2. Elektrotehnika, elektronika, informācijas un komunikāciju tehnoloģijas
Pētniecības platforma Materiāli, procesi un tehnoloģijas
Autori Mindaugas Andrulevičius
Līga Avotiņa
Jurijs Dehtjars
Gennady Enichek
Marina Romanova
Evgeny Shulzinger
Hermanis Sorokins
Sigitas Tamulevičius
Aleksandrs Viļķens
Aleksandr Zaslavski
Atslēgas vārdi silicon nitride, nanocapacitor, capacitor
Anotācija The purpose of this study was to identify the influence of the number of dielectric Si3N4 nanolayers on the quality of nanocapacitors.
Hipersaite: http://icnmsme2019.web.ua.pt/wp-content/uploads/2019/07/ICNMSME2019.pdf 
Atsauce Andrulevičius, M., Avotiņa, L., Dehtjars, J., Enichek, G., Romanova, M., Shulzinger, E., Sorokins, H., Tamulevičius, S., Viļķens, A., Zaslavski, A. XPS, FTIR and Photoelectron Emission Spectroscopies to Analyze Nanocapacitor Silicon Nitride Nano Layered Structures. No: 2nd International Conference on Nanomaterials Science and Mechanical Engineering: Book of Abstracts, Portugāle, Aveiro, 9.-12. jūlijs, 2019. Aveiro: 2019, 106.-106.lpp. ISBN 978-972-789-544-1.
Pilnais teksts
ID 29431